超純水是在純水的基礎上經過光氧化技術、精處理和拋光處理等一系列復雜的純化技術制得的。這樣的水是一般工藝很難達到的程度。

　　超純水系統主要包括預處理系統、RO系統、EDI系統、拋光處理系統以及遠程控制系統、監控系統、水量計量系統和其他輔助系統。采用中央監控系統控制純水系統的運行操作，控制模式采用PLC+上位機，采用CPU和服務器無縫冗余。不使用國家明令禁止的產品，對化學品的使用應有泄露應急措施。各級設備應具有余量、備用，系統自動運行，同時也可以切換為手動。采用節約用能設計。超純水泵、EDI增壓泵、RO高壓泵、UF反洗泵、RO供給水泵采用變頻器控制。原水直接來源于業主自行建設的水箱，不再單獨建設原水箱。

　　超純水生產具體設備介紹：

　　1、預處理系統

　　包括原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統。作為反滲透的前處理，主要目的是去除原水中的懸浮物、膠體、色度、濁度、有機物、硬度等妨礙后續反滲透運行的雜質。

　　2、雙級反滲透系統

　　包括保安過濾器、高壓泵RO、反滲透系統。反滲透系統承擔了主要的脫鹽任務。有效地判斷和確定系統的運行情況。

　　3、EDI系統

　　EDI的作用就是通過除去電解質(包括弱電解質)的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

　　4、拋光混床

　　無化學析出的核子級樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質，使水質達到18MΩ·cm以上。

　　5、終端超濾

　　能有效地去除水中的微粒、膠體、細菌、熱源和有機物力。是整套系統的防火墻，確保產出的高純水不受二次污染。

　　超純水設備降低能耗，減少化學藥品的使用量，綜合成本低，整體設備運行穩定、自動化程度高、無需人工操作，各自動運行程序的工藝參數、控制參數可在線設定。